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1.潔淨度之設定
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2.基本空氣潔淨化方式之設定
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3.空調方式之設定
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4.對應於製造設備排氣量、外氣量之設定
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5.室內發塵量及外氣含塵量之設定量測
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6.FILTER
之組合及捕收效率之設定
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7.依據必要潔淨度計算室內循環風量
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9.
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<------
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------>
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8.
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------>
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9. |
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8.依空調負荷計算風量
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9.CHECK
是否符合室內最低循環次數？
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◎
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<------
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------>
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10.
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------>
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◎ |
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10.依最低循環次數計算風量
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ok
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◎ 空氣潔淨系統之規劃流程
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Fed. Std. 209D 潔淨度CLASS 之上限濃度 ( 個 / ft3 )
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粒 徑
( um )
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潔 淨 度 (CLASS)
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1
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10
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100
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1000
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10000
|
100000
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0.1
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35
(1236)
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350
(12360)
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NA
.
|
NA
.
|
NA
.
|
NA
.
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0.2
|
7.5
(265)
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75
(2649)
|
750
(26486)
|
NA
.
|
NA
.
|
NA
.
|
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0.3
|
3
(106)
|
30
(1059)
|
300
(10594)
|
NA
.
|
NA
.
|
NA
.
|
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0.5
|
1
(35)
|
10
(353)
|
100
(3531)
|
1000
(35315)
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10000
(353147)
|
100000
(3531470)
|
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5.0
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NA
.
|
NA
.
|
NA
.
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7
(247)
|
70
(2472)
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700
(24720)
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| (
NA.--- NOT APPLICABLE) |
| (
) 括弧內為換算成 個 / m3 之數值 |
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空調負荷之計算
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產業用之 C / R 其負荷特性是以設備動力負載及外氣負荷為其主體，但在高潔淨度場合則
FAN 動力負荷比率則會較高。
在潔淨度較差的場合則會以室內負荷計算所得到之循環風量高于以潔淨度計算所得之循環風量。
( 右圖 )為某半導體工廠之空調負荷比率
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溫度控制
23
2 OC%
振 動
400 U" / Sec
@5 - 50 HZ
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一.
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不帶進入 |
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| 1. |
HEPA
FILTER 及 FRAME 不能有漏洩 |
| 2. |
室內必須維持設計之壓力 |
| 3. |
作業人員必須更衣，經過AIR
SHOWER 後進入C / R |
| 4. |
所有使用材料、設備、工具必須清掃乾淨後始可帶進 |
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二.
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不讓它產生 |
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| 1. |
必須穿無塵衣 |
| 2. |
不可使用容易發塵之材料 |
| 3. |
減少不必要之動作
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| 4. |
沒有必要的物品不可帶進 |
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三.
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不能堆積 |
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| 1. |
不能有不易清潔、清掃之角落及機器周邊 |
| 2. |
盡量減少風管、水管等之室內露出 |
| 3. |
必須按照標準方法與規定及時間實施清潔 |
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四.
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立刻排除 |
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| 1. |
增加換氣次數 |
| 2. |
在發塵部附近排氣 |
| 3. |
改善氣流形狀以免塵埃附著於產品上 |
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