|
1.
|
空壓系統
( Compress Dry Air System )
|
|
2.
|
製程冷卻水系統
( Process Cooling Water Sys. )
|
|
3.
|
低真空系統
( Low Vacuum System )
|
|
4.
|
高真空系統
( High Vacuum System )
|
|
5.
|
緊急洗眼沖身設備
( Eye & Body Washer )
|
|
6.
|
超純水系統
( DI Water )
|
|
7.
|
廢水工程
( Drain ) |
|
8.
|
緊急呼吸設備
( Breathe System ) |
|
9.
|
特殊氣體管路工程
( Special Gas ) |
)